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主營(yíng)產(chǎn)品:

光學(xué)儀器、光學(xué)材料、實(shí)驗(yàn)儀器、手動(dòng)工具、焊接工具、焊接材料、儀器儀表、靜電設(shè)備、靜電輔料、工業(yè)器材、氣動(dòng)元件、電工電氣、測(cè)量工具、計(jì)量設(shè)備、氣動(dòng)工具、電動(dòng)工具、化工設(shè)備、化工輔料、點(diǎn)膠設(shè)備、小型設(shè)備、儲(chǔ)存設(shè)備、物流設(shè)備、工業(yè)安防、**防護(hù)、包裝材料、切削工具、切削材料、辦公設(shè)備、辦公文具、工裝夾具、測(cè)試治具、機(jī)械加工。設(shè)備等。

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產(chǎn)品名稱：重慶內(nèi)藤供應(yīng)HUGLE藤宮全自動(dòng)EUV POD清潔系統(tǒng)REN
產(chǎn)品型號(hào)：全自動(dòng)EUV POD清潔系統(tǒng)REN
產(chǎn)品廠商：HUGLE藤宮
產(chǎn)品價(jià)格：0
折扣價(jià)格：0
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簡(jiǎn)單介紹：

重慶內(nèi)藤供應(yīng)HUGLE藤宮全自動(dòng)EUV POD清潔系統(tǒng)REN 重慶內(nèi)藤機(jī)械設(shè)備有限公司重慶內(nèi)藤供應(yīng)HUGLE藤宮全自動(dòng)EUV POD清潔系統(tǒng)REN

詳情介紹：

全自動(dòng)EUV POD清潔系統(tǒng)REN

它是用于EUV暴露的EUV POD的全自動(dòng)清潔裝置，這是新的曝光技術(shù)。除了拆卸/重新組裝內(nèi)部POD和外部POD之外，每個(gè)POD都使用單獨(dú)的專用CH進(jìn)行清潔/干燥。
完全無(wú)人值守的操作也是可能的。
采用獨(dú)特的清潔/干燥技術(shù)實(shí)現(xiàn)納米級(jí)顆粒去除30年，作為半導(dǎo)體設(shè)備容器清潔設(shè)備制造商。

產(chǎn)品概述

-足跡設(shè)計(jì)
，專有清洗技術(shù)通過(guò)超精密清洗
和高效的干燥系統(tǒng)完全干燥實(shí)現(xiàn)通過(guò)
，全自動(dòng)POD開(kāi)放的交叉污染預(yù)防由
-RSP200兼容
機(jī)器人手自清潔系統(tǒng)內(nèi)置
-獨(dú)立專用室**