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產(chǎn)品詳情

  • 產(chǎn)品名稱：原裝進(jìn)口 棒式離子發(fā)生器 AeroBarMP Model 5635 SIMCO思美高

  • 產(chǎn)品型號(hào)：AeroBarMP Model 5635
  • 產(chǎn)品廠商：SIMCO思美高
  • 產(chǎn)品價(jià)格：0
  • 折扣價(jià)格：0
  • 產(chǎn)品文檔：
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簡(jiǎn)單介紹：
模型5635航空酒吧MP離子發(fā)生器是對(duì)應(yīng)于先進(jìn)半導(dǎo)體制造過(guò)程中開(kāi)發(fā)的產(chǎn)品，如100納米 原裝進(jìn)口 棒式離子發(fā)生器 AeroBarMP Model 5635 SIMCO思美高 以下的微粒管理的應(yīng)用程序中和超低顆粒是必要的地方 原裝進(jìn)口 棒式離子發(fā)生器 AeroBarMP Model 5635 SIMCO思美高
詳情介紹：

擴(kuò)展ISO Class 1,10nm棒式離子發(fā)生器AeroBarMP Model 5635
模型5635航空酒吧MP離子發(fā)生器是對(duì)應(yīng)于先進(jìn)半導(dǎo)體制造過(guò)程中開(kāi)發(fā)的產(chǎn)品，如100納米以下的微粒管理的應(yīng)用程序中和超低顆粒是必要的地方

（詳情請(qǐng)咨詢TEL:18375760285QQ:1280713150 白先生）

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特點(diǎn)
  • 單晶硅電極在全球范圍內(nèi)具有****的采用記錄，避免了由于超低顆粒特性和電極材料導(dǎo)致的金屬污染風(fēng)險(xiǎn)
  • 通過(guò)原始MP（脈沖調(diào)制）方法有效地將離子帶入目標(biāo)的高效靜電消除
  • 即使在100毫米距離和離子平衡下也可以使用小的潛在擺動(dòng)特性，而且在棒長(zhǎng)度上幾乎沒(méi)有偏差
  • 智能控制電路自動(dòng)管理離子發(fā)生狀態(tài)和離子平衡
  • 可拆卸1/4圈可更換電極有助于減少維護(hù)工時(shí)
  • 由于MP系統(tǒng)的特點(diǎn)，潛在擺幅非常小，所以設(shè)置簡(jiǎn)便同時(shí)，小幅擺幅有效地將長(zhǎng)期離子平衡保持在管理標(biāo)準(zhǔn)之內(nèi)
  • 設(shè)置半導(dǎo)體前端EFEM對(duì)應(yīng)的長(zhǎng)度條
  • 24 V DC驅(qū)動(dòng)控制器的緊湊設(shè)計(jì)
  • 高水平的全球支持網(wǎng)絡(luò)
 
規(guī)范
5635型AeroBar MP
輸入電壓 24 V DC +/- 10％
輸出電壓 高達(dá)約13.5kv pp可調(diào)
安裝距離 100毫米至1000毫米（無(wú)空氣吹掃）
離子生成方法 電暈放電方式
MP（脈沖調(diào)制）方式調(diào)制頻率1?33Hz
離子平衡 自動(dòng)平衡調(diào)整方法
<+/- 10 V由于位置正下方的位置差異<+/- 10 v 
（600 mm距離）
電極 單晶硅電極可交換
吹掃氣體 清潔干燥空氣或N 2
*大吹掃壓力 310 Kpa
臭氧量 <0.05 ppm（24小時(shí)積分值）
信號(hào)輸出 報(bào)警IO開(kāi)集輸出
維 高度78毫米x深度34毫米x長(zhǎng)度如下
450/600/850/1000/1150/1300/1450/1600/1750/1900/2050/2200/2350
毫米
外觀 ABS樹(shù)脂

擴(kuò)展ISO Class 1,10 nm？
關(guān)于擴(kuò)展ISO等級(jí)1,10納米？ION Systems專門定義了清潔度的定義，以便應(yīng)對(duì)精細(xì)的顆粒管理。ISO 14644-1定義為*小粒徑為100 nm。擴(kuò)展ISO Class1,10nm并且使用顆粒的計(jì)算公式和ISO14644-1及其允許顆粒的數(shù)目的同一允許數(shù)將是1200pc /立方米（34 PC /立方英尺 ） 至少一個(gè)粒徑10nm的


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