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功能
這是一種小巧輕便的便攜式,可以很容易地管理曝光設(shè)備的照度和光強(qiáng)度。
紫外光強(qiáng)度和光強(qiáng)度可以很容易地測(cè)量。
接收器,你會(huì)根據(jù)這樣的使用是(你的計(jì)劃)光源和抗蝕劑的靈敏度選擇為UV-25,35,42。但是,如果使用的是電子電路(印刷電路)板的制造工藝中的UV-SN25中,UV-SN35,UV-SN42,半導(dǎo)體,UV-SD25在你的液晶基板的制造過(guò)程的情況下,UV建議選擇-SD 35,UV-SD 42
測(cè)量數(shù)據(jù)可以通過(guò)RS-232C通訊輸出進(jìn)行傳輸。
它也有一個(gè)模擬輸出。
關(guān)于SD類(lèi)型和SN類(lèi)型
SN型自古以來(lái)一直使用我們的曝光設(shè)備和照射設(shè)備,已經(jīng)被客戶廣泛采用,保證了流程管理的連續(xù)性。
在SD型半導(dǎo)體和液晶基板的制造工藝的領(lǐng)域中,已經(jīng)是一個(gè)顧客使用的是由其它公司,他們的樂(lè)器,如果兼容性是重要(本公司制的數(shù)據(jù)的曝光裝置的制造的光計(jì)但是,投影型曝光裝置和液晶基板的周邊曝光裝置采用SD型),推薦使用全新的光度計(jì)等的顧客。
在SD型和SN型的指示值上
SD類(lèi)型所指示的值作為SN類(lèi)型,以確保從用作相同的測(cè)量條件下進(jìn)行校準(zhǔn)的輻射源公司測(cè)量集團(tuán)的高壓UV燈的舊(測(cè)定365nm的發(fā)射線的過(guò)程數(shù)據(jù)的兼容性它 被調(diào)整為比顯示的值高39%:mW / cm 2顯示)。
關(guān)于與其他廠商光度計(jì)的數(shù)據(jù)兼容性
不同于可見(jiàn)光(亮度測(cè)量,如家庭,辦公室,商店,博物館LUX單元照度計(jì)),標(biāo)準(zhǔn)照度米要被施加到所有的照度計(jì)對(duì)紫外線未被指定,但( JIS的工作似乎只在有限的使用中進(jìn)行)。
的公司的相對(duì)光譜靈敏度,對(duì)于由光源主要由365nm的發(fā)射線,開(kāi)始與測(cè)量的峰值波長(zhǎng)處測(cè)量的照度的目的進(jìn)行(波長(zhǎng)相對(duì)光譜靈敏度特性是由1表示),短波長(zhǎng)側(cè)的上升(300nm的310nm的?之前和之后)和長(zhǎng)波長(zhǎng)側(cè)(約在380nm?400nm的),波長(zhǎng)與之前和下來(lái)常設(shè)已經(jīng)稍微不同的曲線之后。
另外,如果你Chikazukeyo與據(jù)說(shuō)這是COSθ特性光接收裝置的接收角特性理想曲線,但已經(jīng)在設(shè)計(jì)圖面的努力,現(xiàn)實(shí)的情況是不是中間的人認(rèn)識(shí)。
◆規(guī)格
接收器(可更換)
UV-SD 35(UV-SN 35)
測(cè)量波長(zhǎng)范圍
310至385nm
測(cè)量照度范圍
0.001至50mW / cm 2
測(cè)量的光量范圍
0.001至19999mJ / cm 2
對(duì)齊精度
在我們的UV標(biāo)準(zhǔn)的±1.5%以內(nèi)
重復(fù)性
在±1.5%